特种气体

特种气体是高纯度、精确配制的定制化气体，旨在满足半导体制造的特定要求。

公认的特种气体领导者

我们拥有领先的产品组合、全球化布局、专业技术支持、深厚的应用知识以及紧密的客户合作关系！

我们精确配制的特种气体可满足各类制造工艺的特殊需求，同时，我们还不断进行产品优化，有效提升制程效率与器件性能，显著增强半导体器件的整体质量与可靠性。

我们的生产基地经过战略布局，能为全球半导体合作伙伴提供本地化服务支持。

我们在全球范围内生产、提纯和分销超过40种特种气体，全部符合最高质量与安全标准。产品组合全面覆盖刻蚀、清洗、沉积和离子注入等技术。

我们提供业内最全面的特种气体产品系列，为客户交付定制化解决方案。超高纯度产品可确保生产流程无缝运行，助力全球客户提升产品性能并保持竞争优势。我们的特种气体能精准控制化学反应、沉积工艺和刻蚀步骤，从而以高精度构建复杂的半导体结构。

我们致力于提升刻蚀、清洗、沉积和离子注入工艺的效率，以支持下一代半导体技术的研发。

我们与电子材料供应系统及服务（DS&S）紧密合作，通过配置气体柜的供气系统，并运用MEGASYS®专业现场维护团队，为客户提供一体化持续服务。

依托全球化产能布局与本地化服务网络，确保持续可靠的气体供应。

我们以创新研发为驱动，推动特种气体技术在先进制程节点的升级突破。凭借世界领先的合成化学、可持续发展和工艺创新专业团队，专注于研发助力计量能力提升的新型特种气体，为半导体制造带来更高纯度与更优性能。

W我们致力于开发环保型替代气体，支持下一代半导体技术发展。

通过紧密合作开发低全球变暖潜能值（GWP）气体解决方案，有效降低制程排放，助力气候行动目标实现。

若您有意与我们携手，欢迎联系获取更多信息。