零部件制造的革命性新方法
过去,电脑像房间一样大。但是现在,它们可以放进口袋、戴在手腕上,甚至可以植入体内。这一惊人的进步要归功于微芯片组件(用作计算机核心电路中微小开关的半导体器件,如晶体管)微型化程度的不断提高。
数十年的发展、科学和工程领域的突破,以及数十亿美元的投资,为我们提供了大量运算结果和内存,这些促成了我们如今正在经历的技术大趋势,例如人工智能、物联网和5G网络。
但坏消息是,我们即将遇到阻碍。晶体管的小型化速度正在放缓,因为制造商已经没有办法使用传统方法来打造越来越小的电路。
这种放缓与软件创新的飞速发展并存。现在,我们即将到达拐点,即硬件及其高昂的制造成本将会逐渐阻碍技术发展。
定向自组装(DSA)是一种用于制造计算机芯片组件的革命性新方法,可以帮助解决这些问题。
您知道吗
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10 纳米
如今晶体管功能结构的最大尺寸。
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3000
可以并排放在一根人类头发上的晶体管数量。
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>40%
使用定向自组装可以削减的微芯片制造工艺步骤比例。
为何需要新型微芯片制造工艺?
要了解定向自组装为何如此重要,我们首先需要明白,为什么当前的制造工艺将难以跟上组件持续小型化的步伐。
在基于纯晶体硅晶片的集成电路问世之前,晶体管曾经是一种庞大的设备。经过50年的不断发展,我们现在可以实现尺寸仅为10纳米的晶体管功能结构。
打个比方:一根人类头发的跨度为100微米,而一个晶体管则仅为一微米的几分之一。您可以在整根人类头发上横向放置3000多个晶体管。
除了可以在较小芯片上放置更多晶体管这一显而易见的优势之外,更小的晶体管同样能够实现更快、更高效的开关操作。
那么,目前的制造工艺是如何运作的,为什么会达到极限?
芯片通常通过光刻法制造。在此过程中,会在硅晶片上涂覆被称为光致抗蚀剂的光敏材料。之后,硅晶片将被置于不同图案之下,这些图案由光线穿透被称为掩模的滤光片形成。光线每照射到一处,光刻胶便会固化,其余部分则会被冲洗掉。在下一步骤中,会对晶圆进行化学蚀刻,由此在表面的裸露部分形成功能结构。
对于速度最快的微芯片,其元件之间的距离在10到20纳米之间,间距为80纳米,此过程将重复大约30次。每个步骤都需要自己昂贵的掩膜,并且每个步骤都会增加流程时间。随着我们朝着小型化的方向发展,行业现在希望将尺寸降至10纳米以下,在这种情况下,光刻技术将变得过于昂贵和复杂。
“此类先进的构图系统已经变得极为复杂,据称,每套系统的成本均超过1亿美元。Branchburg半导体材料研发部主管Karl Skjonnemand说,“半导体工厂通常需要数十台这样的机器。因此人们对此表示严重质疑:这种方法是否长期可行?”
自组装——以大自然灵感推动技术创新
我们正在尝试一种完全不同,且更具成本效益的计算机芯片制造方法——一种受自然启发的方法。
自组装指的是,各个组件自发组成规律的结构,这是组件之间特定局部交互作用的结果。自组装存在于生物系统的许多不同地方,从脂质膜到细胞结构。
我们正在研究,如何将这种自然的分子自组装应用于半导体技术的制造中。
“如果观察集成电路结构或晶体管阵列,许多功能结构都会重复数百万次。”Skjonnemand说,
“这是一个高度周期性的结构。因此,我们希望在替代制造技术中利用这种周期性,并通过自组装材料自发地形成晶体管所需的周期性结构。”
在我们当前开发的分子自组装中,关键在于嵌段共聚物。这些材料由两条长度只有几十纳米的聚合物链组成,它们具有特殊的热力学特性,可形成具有高度规律性的纳米结构。
“这两条聚合物链彼此厌恶、相互排斥,非常像油和水。”Skjonnemand解释说,“我们在核心材料中共有数十亿个这样的部件。其中,相似的部件试图粘合在一起,同时,相反的部件则试图彼此分离。因此,聚合物链会四处移动,直到形成一个固定形状,
而且这个自发性的自组装形状具有纳米级、规则性、周期性,且长距离的特点,这正是我们晶体管阵列所需要的。”
通过简单调整聚合物链中嵌段的体积分数,就有可能产生许多不同的规则图案和形状。因此换句话说,我们正在使用分子工程技术自组装纳米级结构,这些可以根据我们的设计调整为确切的样式、尺寸和周期性。
定向自组装——分子制造的新时代
实现这些结构的自组装能力,仅仅是通向目标制造过程中的一环。它们仍然需要被放置在集成电路中需要晶体管的位置。
对此,我们可以使用传统的光刻方法相对容易地创建导向图案。这些将对嵌段共聚物进行微调,以在硅晶片表面上产生大量新的纳米级功能结构。
“让我们举个例子。”Skjonnemand解释说,“如果我们希望制作一条40纳米的细线——这是传统投影技术很难制造的,我们可以使用普通投影技术制造一条120纳米的导向结构,并对准其中的三条40纳米分线。因此,材料将承担最困难的精细构图任务。我们将整个方法称为‘定向自组装’。”
由于在定向自组装中使用传统的光刻技术,因此另一个优势在于,制造商无需在新设备上进行大量投资。我们与客户携手进行的试点项目显示出,与传统的多重构图相比,制造过程中的报错大大减少。
我们预计,定向自组装可以将制造中涉及的工艺步骤数量减少40%以上。
芯片制造革命即将来临
那么,我们距离定向自组装完全融入日常制造流程还有多远?
在Skjonnemand看来,最大的挑战在于,如要采用定向自组装,整个系统需要完美对准,因为结构中的任何微小缺陷都可能导致晶体管故障。而且,由于电路中有数十亿个晶体管,因此系统需要在分子级上达到几乎完美的状态。
“我们将采取非常规措施来实现这一目标。”他继续说,“通过在半导体工厂中对化学品进行最佳清洁,以及谨慎处理这些材料,我们甚至可以消除最微小的纳米级缺陷。”
多家半导体公司正在将该技术用于大批量生产。
“这项革命性技术有望彻底改变半导体制造工艺,并将加快下一代构图应用的引入。”默克半导体解决方案全球负责人Anand Nambiar表示。
我们在定向自组装技术方面的进步,使客户能够开始规划大批量制造产能。通过开发对于实现客户所需性能和质量至关重要的极纯大批量合成能力,我们对此做出回应。
我们研究人员和客户的信心不断提升,事实上,定向自组装可以在未来几年内成为半导体行业中的先进制造工艺。
如果可以做到这一点,我们将能够以更经济高效的方式,生产出越来越小的晶体管,从而确保运算和数字革命能够继续以惊人的步速向前迈进。这同样预示着分子制造新时代的曙光。
正如Karl Skjonnemand所说的那样:“这简直酷毙了!”