无数日常产品对半导体的需求使人类付出了巨大的环境代价。我们的绿色溶剂正在改善行业现状，致力于让制造过程更安全、更高效、更可持续。我们与美国技术服务经理 David Rennie 讨论了绿色溶剂及其如何才能使芯片生产更具可持续性…
目前，半导体行业在可持续生产过程中面临哪些主要的挑战？
集成电路制造涉及制造薄膜材料。 此类薄膜的制造工艺会产生残留物，需要先清理之后才能制造下一层薄膜。清理这些残留物有两种方法：1) 使用溶剂等湿化学品；2) 使用干燥等离子体工艺。对于湿式清洗溶剂，可持续性挑战分为三类。首先，有些剧毒化学品被用作清洁目的。 这会给使用剧毒化学品的工作人员带来健康问题。其次，清洗溶剂在使用后产通常被作为废弃物回收，作为有害材料予以处理。大量生产将会带来大量废弃物，而这将引发一些环境挑战。最后，随着新技术的开发，对新型溶剂和工艺的需求也变得更大。如果新型溶剂和/或制程并未经过优化，将会加剧化学品的消耗，进而增加客户的成本和产生的废弃物量。
你们开发出了绿色溶剂这种用于晶圆清洗的可持续溶液，那这种绿色溶剂与传统清洗液又有何区别？
传统清洗液通常包含有毒化学品，比如 NMP、TMAH、DMSO 等，而我们新开发的绿色溶剂未使用任何上述有毒化学品。 实际上，我们的绿色溶剂不含任何受欧盟或其他国家/地区法规管制的化学品。我们的绿色溶剂还经过了优化，可溶解传统清洗液无法溶解的特定光刻胶。更好地溶解光刻胶可让客户使用清洗液更长时间之后再进行丢弃。这样便可减少化学品消耗量和所产生的废物量，从两方面促进可持续发展。
绿色溶剂如何促进默克和你们客户的整体可持续发展战略？
通过开发毒性更小但效力更高的绿色清洁溶剂来溶解光刻胶，我们公司致力于保护人们的健康，同时减少影响环境的有害化学品使用。这两项都是我们可持续发展战略的关键要点。这两个概念也会直接传达给我们的客户。 他们的员工不需要处理有毒化学品，他们产生的有害废物量也会更少。我们的客户还能获得另一个好处，那就是工艺流程整体成本的降低，因为他们所用的绿色溶剂使用寿命更长。
让我们来展望一下未来。芯片开发的步伐很快。在可持续发展方面，半导体生产再次超过绿色溶剂可处理范围的风险有多大？
如前所述，新技术对开发新型溶剂和制程提出了要求。如今，可持续发展已然成为行业焦点，研发团队在绿色溶剂的开发活动中也会将可持续性纳入考量。因此，在未来，我认为研发团队开发新型绿色溶剂的能力将会与芯片设计的进展保持同步。
最后一个问题：在可持续发展领域的工作对您的日常生活有哪些影响？
在可持续发展领域的工作给我的日常生活带来了直接的积极影响。人们使用的是更安全的化学品，这一点让我感到安心。这是我们的第一要务，开发新的低毒性化学品有助于大家安全归家与亲朋好友团聚。
使用对于溶解光刻胶更加有效的绿色溶剂，我们的客户便可降低生产设备的相关成本。这反过来又降低了终端消费者的最终产品成本，让更多人能够负担得起及获得可丰富他们生活的技术。所有人，包括我自己，都能从中收益。
